1. Sala do revestimento de vácuo: o quarto de solteiro, a multi-sala ou horizontais verticais escolhem, estrutura da multi-câmara

a seleção, material 304 de aço inoxidável, o diâmetro eficaz da câmara de vácuo é 800mm- 3500mm,

com estrutura refrigerar de água, etc.

2. Sistema do vácuo: a bomba mecânica, bomba de aleta giratória, enraíza a bomba, bomba molecular, baixa temperatura

bombeie, bomba de difusão do óleo do vácuo alto com frio bem, bomba de difusão do óleo do vácuo alto, adote de aço inoxidável

tubulação e válvula.

3. Sistema de revestimento: 2 grupos de 2-10 grupos de alvo liso ou de alvo da coluna, magnétron que engasga, DC+RF da C.C.

magnétron que engasga, revestimento de HDAP.

4. Inflando o sistema: 1-4 controle do medidor de fluxo do gás e do indicador do fluxo.

5. Sistema de controlo: o tela táctil, o controle do PLC, o automático e o manual podem ser convertidos a qualquer hora. Real

cronometre os parâmetros detalhados exposição, controle totalmente automático do processo de produção inteiro, automático

parâmetros de processo do armazenamento. Os componentes bondes principais são tipos famosos tais como Schneider.

6. Sistema de segurança: estabelecendo o dispositivo de alarme do som e da luz da anomalia da água, da eletricidade e do gás, e

executando procedimentos correspondentes da proteção.

7. Bombeamento do auxiliar: uma armadilha de circulação rápida do vapor de água da baixa temperatura.

8. Sistema de aquecimento: a temperatura da placa de base pode alcançar 350 graus com o tubo e o outro

elementos de aquecimento.

9. Pode ser equipado com as fontes múltiplas do alvo de acordo com exigências de cliente.