SOBRE o magnétron do vácuo do Multi-arco do ouro de Rosa da joia que engasga a máquina de revestimento

 
Magnétron do vácuo que engasga o princípio de funcionamento da máquina de revestimento: o “respingo assim chamado”, os elétrons dentro
 
um campo bonde sob a ação de acelerar o processo de voo à carcaça com átomo do argônio
 
colisão, da ionização grandes quantidades para fora de íons do argônio e elétrons. O elétron voa para a carcaça,
 
o íon do argônio acelera o material de alvo sob a ação do campo bonde, engasgando para fora um grande
 
o número de átomo do alvo, e o átomo neutro do alvo (ou a molécula) são depositados na carcaça para formar
 
filme. Elétron secundário na aceleração a voar à carcaça pelo campo magnético em processo do lorentz
 
força magnética, a influência da área limitada perto do plasma da superfície do alvo, a densidade do plasma no
 
a área é elétron muito alto, secundário sob a ação do campo magnético em torno da superfície do alvo é
 
o movimento circular, o trajeto do movimento do elétron é muito longo, constantemente em processo do movimento do impacto
 
da ionização grandes quantidades para fora de bombardeio do íon do argônio do alvo, após muitas vezes da colisão do
 
a energia de elétron reduz-se gradualmente, moldado fora o garfo das linhas de campo magnético, longe do alvo
 
material, o depósito final na carcaça.
 

 
a câmara, as válvulas e o encanamento do revestimento de vácuo 1.The são feitos da câmara de vácuo de aço inoxidável eficaz
 
diâmetro de Φ500 milímetro a Φ2000 milímetro.
 
 
2. O sistema do vácuo consiste na bomba mecânica, bomba de aleta giratória, as raizes bombeiam e uma elevação do poço do frio
 
bomba de difusão do óleo do vácuo ou bomba molecular;
 
 
3. O sistema de revestimento adota o alvo liso múltiplo ou o alvo cilíndrico, com alimentação de DC ou meio múltiplo
 
fonte de alimentação da frequência.
 
 
4. O sistema de bombeamento auxiliar adota uma armadilha de baixa temperatura do vapor de água;
 
 
5. O controle do medidor de fluxo do gás e do controle de fluxo (exposição) do sistema pneumático é adotado.
 
 
6. O sistema de controlo bonde estabelecerá a sobrecarga do circuito, a quebra da água e o dispositivo de alarme sadio do
 
ar quebrado;
 
 
7. O sistema de controlo (tela táctil + PLC), indica parâmetros detalhados no tempo real, controle totalmente automático de
 
o processo de produção inteiro, e armazenamento automático de parâmetros de processo.
 
 
8. O equipamento é equipado com o sistema da polarização do poder superior e o depósito de ionização do auxiliar da fonte
 
revestimento;
 
 

 
1. O de alta energia emissor engasgando aumentou significativamente a densidade e a adesão da membrana.
 
 
2. O quadro do workpiece adota a estrutura pública da rotação, que pode ajustar o positivo automático e
 
a rotação inversa, e o produto são mesmo bons.
 
 
3. Configuração razoável, taxa de bombeamento rápida, consumo de energia de baixo nível de ruído, baixa.
 
 
4. A camada do filme depositada por este equipamento pode cumprir exigências do cliente em termos da densidade,
 
uniformidade, pureza e dureza.
 
 
5. O tela táctil +PLC pode conseguir interruptor automático/manual completo do controlo automático.