SOBRE o magnétron Titanium do nitreto que engasga a máquina de revestimento do vácuo de PVD

1. O magnétron que engasga o princípio é baseado na teoria da descarga de fulgor do cátodo, ele gasta

campo magnético de superfície do cátodo perto da superfície da parte do trabalho. Então melhora o átomo engasgado

taxa da ionização. Mantém o magnétron engasgar a uniformidade, igualmente pode melhorar o efeito de brilho de superfície.


2. A fonte da evaporação do plasma do arco é segura, ele pode trabalhar sob a corrente 40A em aperfeiçoar o cátodo

e a estrutura do campo magnético. Acontecerá difusão atômica entre o revestimento e o material. Ele

igualmente tem as vantagens que o feixe do lon ajudou ao depósito.


3. Limpe o sistema de bombeamento, sistema de controlo bonde e o sistema de revestimento completo do vácuo pode ser

personalizado de acordo com exigências de usuário.

4. A fonte secundária do íon criogênico dos equipamentos, alguma carcaça sem aquecer o material, ele pode

faça diretamente o filme frio do chapeamento na temperatura ambiente, salvar a energia, aumentam a produtividade.


5. O máximo da temperatura para a câmara de revestimento da ferramenta pode 600 graus, além do que a ferramenta

As aplicações do revestimento do Coater exigem o dispositivo de aquecimento, outras aplicações não precisam o dispositivo.
 

Magnétron que engasga o princípio de funcionamento de máquina de revestimento do vácuo, o “respingo assim chamado”, sob

a ação dos elétrons em um campo bonde acelera à carcaça em processo da colisão com argônio

átomos, da ionização grandes quantidades para fora de íons do argônio e elétrons. O elétron voa para a carcaça,

o íon do argônio acelera o material de alvo sob a ação do campo bonde, engasgando para fora um grande

o número de átomo do alvo, e o átomo neutro do alvo (ou a molécula) são depositados na carcaça para formar

filme. Elétron secundário na aceleração a voar à carcaça pelo campo magnético em processo do lorentz

força magnética, a influência da área limitada perto do plasma da superfície do alvo, a densidade do plasma no

a área é elétron muito alto, secundário sob a ação do campo magnético em torno da superfície do alvo é

o movimento circular, o trajeto do movimento do elétron é muito longo, constantemente em processo do movimento do impacto

da ionização grandes quantidades para fora de bombardeio do íon do argônio do alvo, após muitas vezes da colisão do

a energia de elétron reduz-se gradualmente, moldado fora o garfo das linhas de campo magnético, longe do alvo

material, o depósito final na carcaça.